单探针是等离子体测量中最基础最广泛的诊断设备。探针系统的主要功能是诊断等离子体的离子密度、电子温度等参数。MY-SP单探针诊断精度高，针对不同的等离子体环境，该单探针测量系统可根据客户需求做特殊的定制。MY-SP单探针系统主要包括探针系统，数据采集及处理模块以及电源系统。

关键技术指标

气压范围：10^-5Pa- 1Pa，
电子温度范围：0.1eV-100eV，
离子密度测量范围：10¹²/m³-10²²/m³，
适用电位测量范围为：-200V – 200V，
空间分辨率：~1mm。
时间分辨频率：1kHz-100MHz
通讯方式：以太网