采用先进高效率、高稳定性射频功放技术， 有效地减少功率损耗， 提高设备寿命，具有驻波（VSWR)保护功能， 可在负载出现异常后快速启动，支持实时功率和负载阻抗测量，支持脉冲工作模式， 支持多台机脉冲同步

13.56MHz射频电源一体机是等离子体设备的能量驱动源，该射频电源为一体式设计，机箱包含电源部分和匹配器部分，该射频电源主要应用于射频溅射、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体镀膜、清洗、刻蚀等制造行业。该射频电源由射频信号发生器、功率放大器、VI 检测单元以及核心处理器等部分组成。

该等离子体源兼具CCP等离子体源均匀性和ICP等离子体源高密度。该等离子体源全金属设计，无氧污染，带电离子成份少，在非氧薄膜沉积领域具有低氧污染，效率高能优点。