等离子体诊断

全系离子源/束装备优质供应商

产品服务

在线射频VI探测器

查看详情

在线射频VI探测器

型号：MY-VI-S

MY12 型射频 VI 功率计是一款先进的实时监测射频电源信号的电压、电流、功率、反射和阻抗等参数的仪器，具有极高的精度和多种功能。可用于射频电源和自动匹配器及等离子体的相关测试。射频 VI 功率计配备 L29 的接口，并可以转接多重不同形式的接口。
OES（光学发射光谱）

查看详情

OES（光学发射光谱）

型号：MY-2000/MY-2000PRO

本产品针对弱光检测领域进行优化设计，采用消杂散光、非球面光学、双闪耀光栅、渐变滤光片等技术，具有高光通量、高光谱分辨、高信噪比等优点。可应用于透射率/反射率/吸光度测试、生物细胞分析、激光光谱检测、等离子体监测、刻蚀终点检测、薄膜厚度测量等领域。
减速场能量分析仪（RFEA）

查看详情

减速场能量分析仪（RFEA）

型号：MY-RFEA

该系统包括减速场能量分析（RFEA）、腔室整体连接装置和控制单元及软件。RFEA探测器安装于一个电极底座上，方便的置于腔室中的任意位置，可在电容耦合、电感耦合、ECR、DC、微波和远程源等。控制单元可提供所有需要的栅极偏压，软件可自动扫描和控制测量。
大气压单探针

查看详情

大气压单探针

型号：MY-ASP

大气压单探针是大气压等离子体测量中最基础最广泛的诊断设备。探针系统的主要功能是诊断等离子体的离子密度、电子温度等参数。MY-ASP大气压单探针诊断精度高，针对不同的等离子体环境，该探针可根据客户需求做特殊的定制。MY-ASP大气压单探针主要包括探针系统，数据采集及处理模块以及电源系统。
马赫探针

查看详情

马赫探针

型号：MY-MP

马赫探针探针是等离子体测量中最基础最广泛的诊断设备。探针系统的主要功能是测量等离子体流速。MY-MP马赫探针诊断精度高，针对不同的等离子体环境，该探针可根据客户需求做特殊的定制。MY-MP马赫探针主要包括探针系统，数据采集及处理模块以及电源系统。
三探针

查看详情

三探针

型号：MY-TP

三探针是等离子体测量中最基础最广泛的诊断设备。该探针系统的主要功能是诊断等离子体的离子密度、电子温度等参数。MY-TP三探针诊断精度高，针对不同的等离子体环境，该三探针可根据客户需求做特殊的定制。MY-TP三探针系统主要包括探针系统，数据采集及处理模块以及电源系统。
双探针

查看详情

双探针

型号：MY-DP

双探针是等离子体测量中最基础最广泛的诊断设备。探针系统的主要功能是诊断等离子体的离子密度、电子温度等参数。MY-DP双探针诊断精度高，针对不同的等离子体环境，该双探针可根据客户需求做特殊的定制。MY-DP双探针系统主要包括探针系统，数据采集及处理模块以及电源系统。
单探针

查看详情

单探针

型号：MY-SP

单探针是等离子体测量中最基础最广泛的诊断设备。探针系统的主要功能是诊断等离子体的离子密度、电子温度等参数。MY-SP单探针诊断精度高，针对不同的等离子体环境，该单探针测量系统可根据客户需求做特殊的定制。MY-SP单探针系统主要包括探针系统，数据采集及处理模块以及电源系统。

咨询热线

咨询：

028-6145 5440

技术：

19262859517 （微信同号）

销售：

19180552443 （微信同号）
19180552443 （微信同号）

邮箱：383352356@qq.com

地址：四川·成都市双流区国芯大道399号

法律声明隐私政策联系我们

等离子体诊断

在线射频VI探测器

在线射频VI探测器

OES（光学发射光谱）

OES（光学发射光谱）

减速场能量分析仪（RFEA）

减速场能量分析仪（RFEA）

大气压单探针

大气压单探针

马赫探针

马赫探针

三探针

三探针

双探针

双探针

单探针

单探针