该系统包括减速场能量分析（RFEA）、腔室整体连接装置和控制单元及软件。RFEA探测器安装于一个电极底座上，方便的置于腔室中的任意位置，可在电容耦合、电感耦合、ECR、DC、微波和远程源等。控制单元可提供所有需要的栅极偏压，软件可自动扫描和控制测量。

关键技术指标

离子能量范围：0 - 2000eV max
离子流量： 0.001 - 700mA/cm² 
时间分辨频率范围： 4Hz to 100 kHz
离子能量分布函数（IEDF）分辨率: +/- 1eV nominal 
电压范围 -200V to +200V (抑制电压), -1500V to +1500V (栅极扫描电压)
电流范围：100pA to 100mA
通讯方式：以太网