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等离子体诊断

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在线射频VI探测器

MY-VI-S
等离子体诊断
MY12 型 射频 VI 功率计是一款先进的实时监测射频电源信号的电压、电流、功率、反射和阻抗等参数的仪器,具有极高的精度和多种功能。可用于射频电源和自动匹配器及等离子体的相关测试。射频 VI 功率计配备 L29 的接口,并可以转接多重不同形式的接口。
2024-11-05 09:36
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产品详情

MY12 型 射频 VI 功率计是一款先进的实时监测射频电源信号的电压、电流、功率、反射和阻抗等参数的仪器,具有极高的精度和多种功能。可用于射频电源和自动匹配器及等离子体的相关测试。射频 VI 功率计配备 L29 的接口,并可以转接多重不同形式的接口。

关键技术指标

特性阻抗: 50 Ohms
射频接头:  L29
射频功率范围(50 欧姆阻抗): 最大 12kW
供 电:  12V DC,2A
通信接口:  RJ45×2,RS485
测量采样周期:  1us to 1s
功率动态范围 : ≥40dB
功率测量范围:  12kW
功率分辨率:  0.1W
功率测量精度:  ±1%
电压动态范围:  80dB
电压测量范围:  0.3V to 3000VRMS 
电压分辨率:  0.1VRMS 
电压测量精度:  ±1%
电流动态范围:  80dB
电流测量范围:  2.5mA to 25ARMS
 电流分辨率:  1.0mA
电流测量精度:  ±1%