该等离子体源兼具CCP等离子体源均匀性和ICP等离子体源高密度。该等离子体源全金属设计，无氧污染，带电离子成份少，在非氧薄膜沉积领域具有低氧污染，效率高能优点。

关键技术指标

电源频率：13.56MHz/27.12MHz（自动匹配）
功率:0 -10 kW;
气压: 0.01 Pa to 1000 Pa；
气体:几乎所有工艺气体；
离子动能： 0-2.5keV
冷却方式：水冷
源体形状：圆形或者矩形，根据客户需求定制
中和方式：无需中和
引出方式：平面单栅网（不锈钢、钨、钼、石墨等材质）
电源频率：13.56MHz/27.12MHz（自动匹配）
气压：0.01Pa-1000Pa