13.56MHz射频电源一体机是等离子体设备的能量驱动源，该射频电源为一体式设计，机箱包含电源部分和匹配器部分，该射频电源主要应用于射频溅射、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体镀膜、清洗、刻蚀等制造行业。该射频电源由射频信号发生器、功率放大器、VI 检测单元以及核心处理器等部分组成。

技术指标

AC 输入电压：单相220AC士10%
频率：50Hz/60Hz
功率因数：>0.98(100%RL)
输出频率：13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz士0.005%
额定输出功率：300W/600W
输出功率调节范围：5W~额定功率
最大反射功率：60W/80W
效率：>60%，Z=50Ω,额定输出功率
输出阻抗：50Ω
谐波：<-50dBc
杂散：<-50dBc
功率稳定度：1%设置功率，或者0.1%最大功率(取最优值)