采用先进高效率、高稳定性射频功放技术， 有效地减少功率损耗， 提高设备寿命
具有驻波（VSWR)保护功能， 可在负载出现异常后快速启动
具有高可靠性、高稳定性； 输出功率余量大， 可长期稳定工作
具有精确的功率测量功能， 能精确的测量入射和反射功率
先进的控制系统和精确的自动增益控制算法， 能精准的控制射频电源输出功率
支持本地控制和远程控制， 远程控制采用RS232和RJ45网口
采用先进的功放技术， 射频输出功率可从1 %至最大输出功率连续可调
采用7寸触控屏， 操作直观， 简单
模块化结构设计， 安装维修方便， 节省空间， 结构外形美观， 大方
支持实时功率和负载阻抗测量
支持脉冲工作模式， 支持多台机脉冲同步

关键技术指标

参数项目：技术指标
输入电压：三相 330V- 380V AC50/60Hz
输出频率：13. 56MHz、27. 12MHz
频率稳定度：±0.005%
输出功率：3kW
射频输出接口： L29- K或可定制
功率上升下降时间： <10ms
射频输出功率稳定度： 设定功率的1 %
输出模式： 连续波、脉冲波（选配）
脉冲频率： 100Hz-100kHz
占空比： 5-95%
谐波： <- 45dBc(额定输出至50Ω负载)
杂散： <：-65dBc
整机效率 ≥65%
显示屏： LCD+飞梭按键
相位同步功能： 可选配
保护功能： 过压、过流和过温保护， 反射功率过限和外部联锁保护
冷却方式： 水冷
接口： RS232串口、RJ45网口、联锁接口和DB25用户接口
水压： >2bar(29psi)
冷却水温度： + 5 ℃至+ 35 ℃
环境温度： + 5 ℃至+ 40 ℃
运行湿度： 5%至70%
大气压： 78kPa至106kPa