阳极层离子源的主要优点包括结构简单、无污染、离子能量可调节、适用于多种气体以及在真空清洗和镀膜中的应用效果显著。‌此外，阳极层离子源产生的等离子体中性的离子体，基体表面不会产生电荷积累，这有助于减少对基体的损伤。它可以用于真空清洗高分子化合物、玻璃和金属材料，通过去除这些材料表面的各种杂质、水分、氧化物或进行表面改性，从而提高膜层和基体的结合力。在镀膜过程中，阳极层离子源特别适合镀大工件，如建筑玻璃，并且其离子电流较大，适合用于大型工件的镀膜。

关键技术指标

放电电压：500-2000V
离子动能 ： 0.5*放电电压
离子束流 ：和尺寸参数有关
冷却方式：水冷
形状：圆形或者矩形，根据客户需求定制
中和方式：无需中和
引出方式：无需栅网
气压：1Pa-100Pa