‌ICP离子源通过高频感应线圈产生高频电磁场，使得部分工作气体被电离，形成等离子体。这些等离子体中的电子在高频电磁场的作用下被加速，与中性原子碰撞，导致更多的气体电离，形成等离子体。

关键技术指标

离子动能： 0-10keV
离子束流：0-5A
冷却方式：水冷
源体形状：圆形或者矩形，根据客户需求定制
束流形状：平行/汇聚/发散可选择
中和方式：钨丝、空心阴极或者射频可选
引出方式：三栅网或者两栅网（钨、钼、石墨等）
电源频率：13.56MHz/27.12MHz（自动匹配）
气压：1Pa-100Pa