‌ICP等离子体源通过高频感应线圈产生高频电磁场，使工作气体全部被电离，形成等离子体。该等离子体源气体利用效率高，等离子体密度高，束流形状可以通过改变电流调节。

关键技术指标

离子动能： 0-300eV
冷却方式：水冷
源体形状：圆形或者矩形，根据客户需求定制
束流形状：平行/汇聚/发散可调节
中和方式：无需中和
引出方式：无需栅网
电源频率：13.56MHz/27.12MHz（自动匹配）
气压：0.01Pa-1000Pa