案例客户为专业精密光学元器件设备制造商，主要产品为离子束抛光机，提供超精密光学工艺制造研发服务，是一家超精密光学元器件解决方案提供商。

应用方向：非接触式亚纳米离子束表面修形；

应用领域：半导体/精密光学；

产品类别：高精密光学器件；

技术要点：

1. 加工尺寸能力5-1200mm ；

2. 采用非接触式加工，无边缘效应，不产生亚表面损伤；

3. 亚纳米加工精度，可实现面型RMS<3nm高精度抛光能力；

4. 加工光学元器件形状有：平面、球面、非球面、自由曲面、离轴非球面等；

5. 加工光学元器件材料有：石英玻璃、微晶、超低膨胀玻璃（ULE)、KDP晶体、蓝宝石、硅、碳化硅、红外材料等。

产品介绍

使用墨塬科技自主研发的特种汇聚型RF离子源，配备3层栅网，发射汇聚型离子束，离子能量范围50-3000eV，离子束流范围50-2000mA，用于离子束修形及抛光。